Labo 03 · Couches minces sur treillis
Jusqu’où un dépôt à vue directe pénètre-t-il dans un treillis imprimé ?
Implants poreux, échangeurs thermiques et treillis allégés portent l’essentiel de leur surface à l’intérieur de la structure. En pulvérisation magnétron vers 0,5 Pa, un atome pulvérisé parcourt de l’ordre du centimètre entre deux collisions, soit vingt fois ou plus la taille des pores d’un treillis imprimé courant. Dans le treillis, chaque atome vole donc en ligne droite et se colle au premier brin rencontré. Les brins extérieurs font de l’ombre aux brins intérieurs.
L’angle d’arrivée compte autant que la quantité. Les films déposés sous incidence oblique forment des colonnes inclinées et plus poreuses, avec une dureté et des fonctions différentes. Les mesures sur un implant poreux en titane revêtu par pulvérisation montrent la même chute du dépôt avec la profondeur.
λ = kBT / (√2 π d² p) ≈ 1 à 2 cm à 0,5 PaLibre parcours moyen issu de la théorie cinétique, bien supérieur à des pores de 0,3 à 1 mm : dans le treillis, le transport est balistique.
À essayer : rendez le flux plus directif, épaississez les brins, puis inclinez l’éprouvette et faites-la tourner. Observez les deuxième et troisième couches.
Modèle et hypothèses +
Treillis 3D cubique simple à brins ronds, maille unité, sept couches de mailles. Transport balistique avec coefficient de collage égal à 1, sans réémission, repulvérisation ni collision avec le gaz dans le treillis. Flux ∝ cosnθ autour de l’axe de la source, 60 000 trajectoires. Dépôt par unité de surface de brin, recouvrements aux nœuds non retirés, rapporté à un témoin plan face à la source. Contrôle : des rayons parallèles aux brins sont captés par 2D − D² de la surface, comme l’impose la géométrie.
- Van Aeken, K., Mahieu, S., Depla, D. (2008). The metal flux from a rotating cylindrical magnetron: a Monte Carlo simulation. Journal of Physics D 41, 205307. doi:10.1088/0022-3727/41/20/205307
- Barranco, A. et al. (2016). Perspectives on oblique angle deposition of thin films. Progress in Materials Science 76, 59–153. doi:10.1016/j.pmatsci.2015.06.003
- Hawkeye, M. M., Brett, M. J. (2007). Glancing angle deposition. Journal of Vacuum Science & Technology A 25(5), 1317–1335. doi:10.1116/1.2764082
- Wang, P. et al. (2024). Novel nano-thin amorphous Ta-coating on 3D-printed porous TC4 implant. Materials & Design 242, 112986. doi:10.1016/j.matdes.2024.112986
Labo 03 / Dépôt balistiqueTreillis cubique 3D
Interactif avec JavaScript : taille des brins, directivité du flux, inclinaison et rotation de l’éprouvette.
- Couche 1 / témoin plan
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- Couche 2 / couche 1
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- Couche 3 / couche 1
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- Arrivée sous 45° ou plus
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